普莱信携TCB、FOPLP等先进封装设备亮相半导体盛会SEMICON China 2025

展会概况

2025年3月26-28日,SEMICON China 2025在上海新国际博览中心隆重开幕。高端半导体设备企业普莱信受邀参加,普莱信(展位号:N1-1285)将携TCB热压键合机Loong(国产唯一HBM/CoWoS TCB设备)、巨量转移面板级刺晶机XBonder Pro高速夹焊系统Clip Bonder多功能超高精度机DA403等亮相此次展会。

参展信息

  • 展会时间:3月26-28日

  • 展位号:N1馆 1285

  • 展会地点:上海新国际博览中心

展品亮点

1、TCB热压键合机Loong

适用于12英寸及以下晶圆; 

贴装精度:±1μm@3σ;

角度精度:

±0.01°@3σ(33mm>die>=10mm),

±0.05°@3σ(10mm>die>2mm);

专门处理多层叠Die,异质整合 2D、2.5D 及 3D; 

实时主动倾斜控制系统(Active Tip Tilt),可以精确调节脉冲加热器的共面度; 

精准力控,可提供最大300N的贴片压力,0.05N压力控制精度; 

惰性环境, 实现独有的 LPC工艺制程。

2、巨量转移面板级刺晶机XBonder Pro

全球领先的倒装刺晶工艺,拥有自主知识产品; 

XBonder Pro速度最高可以达到180K;

贴装精度控制在:±15μm@3σ以内,最高精度可以做到±5μm@3σ;

支持10μm-3000μm的芯片;

支持wafer to 钢板,wafer to 基板 以及wafer to wafer的IC板级封装;

XBonder Max专为大尺寸基板设计,最高可以支持620×620的基板; 

无需排片工艺,在传统分选上直接打件。

3、多功能超高精度固晶机DA403

高精度:精度 : ±3um @3sigma; 角度: <0.1°@3sigma;

高兼容:COB贴片,周期≤4.5s(视材料而定);

 FC贴片, 周期≤8s(视材料而定);

支持6个6寸晶圆环,不同尺寸Die的贴装;

拥有自动换吸嘴功能;

支持双顶针系统;

可选配同时支持4个蘸胶头、UV固化、闭环力控等功能;

提供高精准Post Bond数据,贴后无需人工复测,降低生产人工。

4、高速夹焊系统Clip Bonder

提供从固晶、夹焊到回焊工艺,一站式夹焊解决方案;

可配置8"/12"晶圆处理,多晶处理;

专利高精度直线驱动焊头设计;

阵列式吸取夹焊,智能回焊工艺;

多头独立点胶控制系统,胶量控制更加精确,配备胶量检测,具有自动补胶功能;

Prebond&Posbond功能;

焊片&锡膏检查功能;

高精度Clips冲切系统;

备有多款配置,照顾市场不同需要,同时可依据特殊需求定制。

关于普莱信

普莱信智能是一家国产高端半导体封装设备领军企业,聚焦国内外顶尖的半导体封装技术,产品覆盖从先进封装产品线、高精度封装产品线和传统封装产品线,在先进封装领域,普莱信已推出Loong系列TCB热压式固晶机、XBonder Pro巨量转移面板级刺晶机系列等;在高精度封装领域,已推出超高精度固晶机DA403/DA402/Lion2300,无源耦合机Lens Bonder,摄像头模组微组装机Lion2600等,已广泛应用于国内外的半导体封测大厂;在传统封装领域,已推IC级固晶机DA1201/DA1201FC/DA801,高速夹焊系统Clip Bonder等,为中国芯片行业的发展贡献力量。